text: 電子微探針，是一種用於非破性檢定少量固體材料化學成分的分析工具。它是用聚焦很細、直徑小於1um的電子束轟擊待分析試樣上的微小區域，對激發出的特徵X射線、二次電子、二次離子、背散射電子、俄歇電子、透射電子、吸收電子、陰極熒光等進行探測和資訊處理的現代儀器分析方法，是電子光學技術與X射線光譜分析技術交匯的產物。
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metadata: 電子微探針
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