text: 在直流濺射中，在靶和待塗覆的基板之間施加幾百伏的直流電壓，因此它也被稱為直流電壓濺射。作用原理.靶形成負電極，基板形成帶正電電極。透過使用。該方法的主要缺點是它只能用於導電靶材料。對於電絕緣材料，將透過目標和基板的新電荷載體的恆定供應來充電，因此補償直流電壓場並阻礙濺射過程，因為隨後的離子將被電擊穿。另外，可實現的濺射速率以及因此塗覆速率相對較低，因為在所使用的低壓等離子體中僅形成少量濺射氣體離子。上述雙電極變體也稱為直流二極體濺射。另外，還存在諸如直流三極體濺射的其他形式，其中靶被佈置為等離子體室外部的第三電極。以這種方式，等離子體產生和濺射過程可以解開耦合。
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metadata: 直流濺射
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