text: 離子敏感場效應電晶體，又稱ISFET 。PH值影響柵極材料的Si–OH基團在水溶液中的介面 水解性 。典型的柵極材料有 SiO2, Si3N4, Al2O3 和 Ta2O5.可以透過位點結合模型描述負責氧化物表面電荷的機理，該模型描述了溶液中Si-OH表面位點和H+離子之間的平衡。 覆蓋氧化物表面的羥基可以透過提供或接受質子而表現兩性，如在氧化物-電解質介面發生的以下酸鹼反應：-Si-OH + H2O ↔ -Si-O - + H3O+-Si-OH + H3O+ ↔ -Si–OH2+ + H2OISFET的源極和漏極的結構與MOSFET相同。氫離子敏感膜透過對氫離子的選擇透過以改變柵極電壓。即ISFET的閾值電壓取決於與其離子敏感膜接觸的物質的pH值。參比電極的現實侷限.對H+濃度敏感的ISFET電極可用作常規的玻璃電極，以測量溶液的pH值。但是，它也需要參比電極才能工作。 如果與溶液接觸的參比電極是經典的AgCl或Hg2Cl2，則它將遭受與常規pH電極相同的侷限性是必不可少的。因此，自20多年來以來，許多研究工作一直致力於片上嵌入式微型參比場效應電晶體。與常規玻璃電極一樣，ISFET電極的關鍵因素仍然是參比電極。 在對電極故障進行故障排除時，通常從參比電極入手。歷史.ISFET的基礎是 MOSFET ， 最初由埃及工程師Mohamed M. Atalla和韓國工程師Dawon Kahng於1959年發明。 1962年， Leland C. Clark和Champ Lyons發明了生物感測器 。特文特大學的荷蘭工程師Piet Bergveld隨後研究了MOSFET，並意識到可以將其改裝為用於電化學和生物應用的感測器 。 這導致了Bergveld在1970年發明ISFET。 他將ISFET描述為“一種具有一定距離的柵極的特殊MOSFET”。 它是最早的生物感測器FET 。ISFET感測器可以在基於 CMOS。
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