text: 氟三氯矽烷是一種無機化合物，化學式為SiCl3F。它可由四氯化矽和三氟化銻在五氯化銻或氯氣的催化下反應得到，該反應也會產生矽的其它氟氯化物；四氯化矽和氟化銨長時間迴流，也有氟三氯矽烷生成，反應的另一產物是四氟化矽。它可以和二甲胺反應，得到三(二甲氨基)氟化矽。
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metadata.title: 氟三氯矽烷
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