text: 六甲基環三矽氮烷，簡稱HMCTS或HMCTSZN，是一種有機化合物，化學式 C6H21N3Si3 或[–Si(CH3)2–NH–]3。這個分子裡面有由三個矽原子和三個氮原子交替排列而成的六元環，每個矽原子都連線兩個甲基，氮原子則連線氫原子。它也可以看作是假想化合物環三矽氮烷 [–SiH2–NH–]3的衍生物，或是假想化合物二甲基矽氮烷 (CH3)2SiNH的三聚體。六甲基環三矽氮烷在室溫下是無色清澈液體。由於其在半導體工業中的應用，六甲基環三矽氮烷作為氮化矽和碳氮化矽沉積的前體已被廣泛研究，並作為光刻膠中的新增劑。也有人建議將其作為二氧化矽的新增劑，用於色譜法。結構.六甲基環三矽氮烷的環幾乎是一個平面。這個分子內的鍵長為 Si-N = 1.728 Å、Si-C = 1.871 Å、C-H = 1.124 Å。它的鍵角則為 N-Si-N ≈ 108°、Si-N-Si ≈ 127°、 C-Si-C ≈ 109°、H-C-H ≈ 112°。製備.六甲基環三矽氮烷是在1948年由 Brewer 和 Haber 透過二甲基二氯矽烷 Si(CH3)2Cl2和液氨 NH3反應，然後用苯萃取沉澱首次合成的。反應會產生多種產物，主要是三聚體和四聚體八甲基環四矽氮烷。三聚體可以透過分餾與其他產物分離。透過在合適的催化劑存在下與氫氣反應轉化四聚體，可以提高產率。
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metadata: 六甲基環三矽氮烷
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