text: 冷等離子體是電離率小於10%的等離子體。其電子溫度遠大於離子溫度，屬於非熱平衡等離子體。用低溫等離子體可以對材料表面進行改性處理。發生技術.產生低溫等離子體的手段很多，可用紫外輻射、x射線、電磁場、加熱等方法。實驗室和工業產品大都採用電磁場激發等離子體，如直流輝光放電、射頻放電、微波放電和介質阻擋放電(DBD)等。
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metadata: 冷等離子體
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