text: 能量散射X射線譜是一種用於元素分析和化學表徵的分析手段。該手段透過收集X射線機或其他X射線源產生的X射線和樣品相互作用時發出的X射線進行分析。由於不同元素因原子結構不同而發射譜各異，所以可以透過分析X射線譜分辨樣品所含的不同成分。激發出樣品的特徵X射線一般需要能量很高的電子束、質子束或X射線。首先，入射的電子激發出基態原子的內層電子。內層電子在離開原子後會留下空穴。外層的、處於較高能級的電子在填充這些低能級空穴的時候，多餘能量可能會以X射線形式放出。能量散射X射線譜儀收集測量的就是這些X射線的能量和強度。由於這些X射線的能量分佈可以反映特定元素的原子特徵，能量散射X射線譜可被用於測定樣品中的元素組成。裝置構成.能量色散X射線譜主要由以下四部分組成：電子束激發源被用於電子顯微鏡、掃描電子顯微鏡和掃描透射電子顯微鏡中，而X射線激發源被用於X射線熒光光譜儀中。X射線探測器可將X射線能量轉換為電訊號；訊號隨後被髮送至脈衝處理器進行測量並傳送到分析儀進行分析。過去最常見的探測器是矽鋰下就可以工作。其他相關技術.高能級的電子在填充低能級的空穴時所出現的能量差不一定都以X射線的形式放出，也可以轉嫁給另一外層電子，使其獲得足夠的能量而逸出原子。這類逸出的電子被稱作俄歇電子，而透過測量俄歇電子對樣品進行分析的手段被稱作俄歇電子能譜學。X射線光電子能譜學是另一種和能量色散X射線譜相關的分析手段，測量的是被X射線激發的內層電子的能量。XPS可用於測定樣品的化學組分；透過對化學位移的測量還可以分析特定元素所處的化學環境，由此確定該樣品的實驗式。能量色散X射線譜、重疊峰等等。但WDS所需的實驗週期較長，且需要經過培訓才能熟練操作，因此EDS較WDS來說更為常見。
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metadata: 能量色散X射線譜
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