text: 重氮萘醌是萘醌的重氮衍生物。 一旦曝光，它將經歷沃爾夫重排反應以形成烯酮。在半導體行業中，各種重氮萘醌的衍生物可被用作光刻膠的感光劑。在半導體制造的過程中，重氮萘醌的磺酸酯通常會用作光刻膠材料中的正性感光劑。在這種應用中，重氮萘醌會與酚醛樹脂混合，以作為溶解抑制劑。在曝光的過程中，部分光刻膠膜會暴露在光線下，而其他部分則不會。在未曝光的區域裡，含有重氮萘醌的光刻膠膜仍然會不溶於水基顯影液中。 而在曝光的區域裡，重氮萘醌會形成烯酮，由此再與環境中的水形成可溶於鹼的茚並羧酸。光刻膠膜中已曝光的區域因而可溶於鹼性溶劑，從而將光刻膠層中的圖形顯現出來。
metadata: erhwenkuo/wikipedia-zhtw
metadata: 重氮萘醌
metadata: https://zh.wikipedia.org/wiki?curid=6277242